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高純氣體供氣系統
簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。
2023
03-17
實驗室氣路系統
降低控制閥的損壞和丟失率，縮短氣閥與儀器間的連接管路的長度，更為方便。
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